基本结构
原子发射光谱仪分为摄谱仪和光电直读光谱仪两类，后者又分为多道光谱仪、单道扫描光谱仪和全谱直读光谱仪等。
原子发射光谱仪器的基本结构由四部分组成：激发光源，进样系统，分光系统，检测系统。
ICP-AES 检测器的发展
照相法
ICP多道直读光谱仪 PMT
ICP单道扫描光谱仪 PMT
ICP全谱直读光谱仪 CCD
通常分析过程试样溶液经进样装置雾化器将液体样品雾化，进入ICP，然后样品被等离子体激发，发射出元素的特征光谱并由反射镜反射，而后聚焦在光谱仪的入射狭缝上。当光进入光谱仪后，射到光栅上。在凹面光栅光谱仪焦面上，针对每一个元素的光谱线设置一个元素的谱线通道、设置一个出射狭缝和一套光电倍增管及其相应的负高压电源等检测电路。每一个通道测定一个元素，安装多个(可达70个)通道，可同时接收不同元素的谱线，并记录其强度。（现市面上已无ICP多道直读）。
单道扫描等离子光谱仪，具有一个通道，在仪器的焦平面上只安装一个出射狭缝、一个光电倍增管及其相应的检测电路。分析不同的元素时可根据其谱线波长的大小相应转动光栅衍射角，待测元素的分析线按波长顺序依次落到出射狭缝上，从而可以在从真空紫外到近红外波段的广阔范围内任意选择谱线。根据谱线强度，可算出相应的元素的含量。
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